Газовые электрические разряды низкого давления и неравновесная низкотемпературная столкновительная плазма находят применение на различных этапах производства современных микро- и наноструктур для электроники и MEMS, обработки материалов и поверхностей, управления химическими реакциями, эмиссии э/м излучения и т.п. Физика плазмы является очень востребованным и, при этом, очень сложным направлением научных исследований. Компания COMSOL предлагает уникальные инструменты моделирования неравновесных газовых разрядов, реализованные в группе физических интерфейсов Plasma модуля «Плазма», расширяющего возможности платформы COMSOL Multiphysics®. В данном видеоуроке мы обсуждаем:
- лежащую в основе физическую модель – т.н. флюидное приближение с сопряжённым расчётом транспортных уравнений для электронов, тяжелых частиц, уравнения для средней энергии электронов и уравнения Пуассона, которые дополнены большим набором объёмных и граничных условий;
- ограничения реализованной формулировки и требуемые на входе данные, в т.ч. о химических реакциях в газе и типе функции распределения электронов по энергиям (ФРЭЭ);
типовые настройки расчётных моделей, в т.ч. сетки и решателей, и логику проведения постобработки;
- доступные примеры расчётов тлеющих разрядов, стримеров, диэлектрических барьерных разрядов, коронных разрядов, а также высокочастотной плазмы с ёмкостным удержанием;
возможности по использованию немаксвелловских ФРЭЭ, в т.ч. с явным их расчетом с помощью опции/интерфейса Boltzmann Equation, Two-Term Approximation;
- мультифизические возможности пакета для моделирования плазмы с индуктивным и микроволновым удержанием, а также решения сопряженных аэродинамических и тепловых задач.

Еще больше материалов и новостей о COMSOL Multiphysics:
Наш VK: [ Ссылка ]
Наш Telegram: [ Ссылка ]
Видеогалерея на сайте: [ Ссылка ]
Корпоративный блог: [ Ссылка ]

свернуть